​調質後的零件，在滲氮處理前須澈底清洗幹淨，茲將包括清洗的滲氮工作程序分述如下：

1.滲氮前的零件表麵清洗

大部分零件，可以使用氣體去油法去油後立刻滲氮。但在滲氮前之最後加工方法若采用拋光、研磨、磨光等，即可能產生阻礙滲氮的表麵層，致使滲氮後，氮化層不均勻或發生彎曲等缺陷。此時宜采用下列二種方法之一去除表麵層。第一種方法在滲氮前首先以氣體去油。然後使用氧化鋁粉將表麵作 abrassive cleaning 。第二種方法即將表麵加以磷酸皮膜處理（phosphate coating）。

2.滲氮爐的排除空氣

將被處理零件置於滲氮爐中，並將爐蓋密封後即可加熱，但加熱至 150℃以前須作爐內排除空氣工作。

排除爐內的主要功用是防止氨氣分解時與空氣接觸而發生爆炸性氣體，及防止被處理物及支架的表麵氧化。其所使用的氣體即有氨氣及氮氣二種。

排除爐內空氣的要領如下：

（1）被處理零件裝妥後將爐蓋封好，開始通無水氨氣，其流量盡量可能多。

（2）將加熱爐之自動溫度控製設定在 150℃並開始加熱（注意爐溫不能高於 150℃）。

（3）爐中之空氣排除至 10％以下，或排出之氣體含 90％以上之NH3時，再將爐溫升高至滲氮溫度。

3.氨的分解率

滲氮是鋪及其它合金元素與初生態的氮接觸而進行，但初生態氮的產生，即因氨氣與加熱中的鋼料接觸時鋼料本身成為觸媒而促進氨之分解。

雖然在各種分解率的氨氣下，皆可滲氮，但一般皆采用 15～30％的分解率，並按滲氮所需厚度至少保持 4～10 小時，處理溫度即保持在 520℃左右。

4.冷卻

大部份的工業用滲氮爐皆具有熱交換幾，以期在滲氮工作完成後加以急速冷卻加熱爐及被處理零件。即滲氮完成後，將加熱電源關閉，使爐溫降低約 50℃，然後將氨的流量增加一倍後開始啟開熱交換機。此時須注意觀察接在排氣管上玻璃瓶中，是否有氣泡溢出，以確認爐內之正壓。等候導入爐中的氨氣安定後，即可減少氨的流量至保持爐中正壓為止。當爐溫下降至 150℃以下時，即使用前麵所述之排除爐內氣體法，導入空氣或氮氣後方可啟開爐蓋。